等离子设备用什么气体

等离子设备用什么气体?

等离子设备分为大气低温等离子(直喷式及旋转式等离子)/真空等离子(独立

式真空等离子及在线式等离子处理系统)/宽幅等离子(宽幅等离子分为宽幅氩

气等离子及宽幅氮气等离子)。

大气低温等离子:主要气体是压缩空气,氮气。

宽幅氩气等离子:射频电源,主要气体是氩气和氧气。

宽幅氮气等离子:中频高压电源,主要气体为氮气+小量压缩空气

真空等离子:中频电源及射频电源都可以,主要是压缩空气;氮气;氩气;氧气;

氦气;四氟化碳;氢气等等(关键在于气体比例及)
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